Svepelektronmikroskopi
SEM (svepelektronmikroskopi) med EDS (energidispersiv spektroskopi, grundämnesanalys) är en mycket användbar och kraftfull kombination för många olika tillämpningar och för lösning av många typer av problem.Hur kan instrumentet användas?
- Avbildning i höga förstoringar (med stort skärpedjup) av en ytas struktur
- Grundämnesanalys av ytor, även av små detaljer eller partiklar
- Mapping
- Linescans
Mapping av ytskikt i tvärsnitt
Vanliga tillämpningar på SP
SEM-bild av tandimplantat
Avbildning
Det kan vara intressant att titta på t.ex. mikrostrukturen i ett ytbehandlingsskikt eller ett ytmodifierat material eller att leta efter föroreningar, repor eller andra defekter på en yta. Ibland vill man försöka identifiera små partiklar utifrån form, struktur, etc.
Beräkning av porositet, partikeltäthet, storleksfördelning, m.m.
I kombination med bildanalys kan t.ex. porositet, partikeltäthet eller storleksfördelning av porer, partiklar eller repor beräknas.
EDS-spektrum
Föroreningar, missfärgningar, beläggningar, täckningsgrad
En EDS-analys visar vilka grundämnen som ingår i t.ex. en förorening, missfärgning eller beläggning på en yta samt även i vilka halter. Mapping kan användas för att visa t.ex. utbredningen av en förorening, hur väl en tunn ytbeläggning täcker en yta eller om det finns repor i en beläggning.
Partiklar och damm
Sammansättningen hos små partiklar eller detaljer på en yta mäts enkelt med EDS. Det kan handla om att identifiera partiklar av okänt ursprung eller att analysera dammpartiklar för att jämföra med misstänkta källor.
Linescan, uppmätt tvärsöver
ett skikt i tvärsnitt
Skikttjockleksmätning av tunna skikt
Tunna skikt kan mätas med SEM/EDS i ett preparerat tvärsnitt av ett prov. Mätningen kan också kombineras med en analys av sammansättningen i olika skikt eller på olika djup i ett material.
Skadeutredningar och korrosionsutredningar
För många typer av skadeutredningar är SEM med EDS en mycket användbar kombination, då man samtidigt kan undersöka en yta i hög förstoring och vid behov göra snabba analyser av intressanta områden direkt då de upptäcks. Exempel på skadeutredningar kan vara att finna orsaken till att rör, rörkopplingar eller andra detaljer har brustit, varför blåsor eller andra defekter har uppkommit i ett ytbehandlingsskikt eller varför vidhäftningen blir dålig mellan bulkmaterial och ytskikt.